Modeling of chemical vapor deposition of tungsten films
- Författare
- Christoph Werner Chris R. Kleijn
- (Chris R. Kleijn, Christoph Werner.)
- Genre
- Ej skönlitteratur
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Birkhäuser | 1993 | Tyskland, Basel, Boston | 138 sidor. ill. |